Ученые научного центра Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого создали отечественный литографический комплекс
Комплекс состоит из двух частей. Первая установка используется для получения изображения на подложке, без использования специальной маски. Такая технология, по словам разработчиков намного менее затратна по сравнению с классической литографией как по деньгам, так и по времени, в которой для получения изображения используются специализированные шаблоны. Установка работает под управлением специализированного ПО и полностью автоматизирована.
Второй элемент комплекса — промышленный образец установки плазмохимического травления кремния. Разработка комплекса поможет решить вопрос технологического суверенитета России в этом направлении в сфере микроэлектроники.
Авторы проекта утверждают, что созданные на такой установке мембраны «превосходят по надежности и чувствительности изготовленные методами жидкостного или лазерного травления». Они подчеркнули также, что это полностью отечественный продукт.
По оценкам разработчиков, отечественная установка будет стоить примерно 5 миллионов рублей, тогда как зарубежные аналоги оцениваются в 10-13 миллиардов рублей.
В планах специалистов СПбПУ — внедрить машинное обучение на обе установки, а также продолжить создание технологий и для силовой электроники.
