Росатом профинансирует создание российского рентгеновского литографа

По итогам поездки Мишустин дал ряд поручений, в том числе, касающихся научных разработок саровского Национального центра физики и математики. Про это событие у меня вышла отдельная статья «Ситуация с рентгеновским литографом после некоторого затишья снова получила импульс».

Так, Минпромторгу и Минэкономразвития было поручено проработать предложения «Росатома» по нескольким проектам, в том числе, по проекту создания отечественного рентгеновского литографа и производственных технологий для его использования. Срок исполнения поручений — 30 августа 2023 года.

Август закончился, предложения «Росатома», очевидно, проработаны, добро дадено, и «Росатом» начал финансирование проекта средствами из своих инвестиционных программ. Как сказал научный руководитель Национального центра физики и математики, академик РАН Александр Сергеев, проект также пользуется активной поддержкой правительства страны.

Об этом многострадальном проекте я уже неоднократно писал раньше. Для ознакомления с ним в общих чертах прочитайте мою статью: «Проект высокопроизводительного литографа, ушедшего в офис Чернышенко».

Этапы создания рентгеновского литографа

Альфа-машина

Этот этап рассчитан на 2 года и уже начат в инициативном порядке. Разработана 3D-модель вакуумной камеры, начато её изготовление. Разработана 3D-модель рентгенооптической системы.

Оптика машины будет давать разрешение менее 28 нм, но за счёт пока ещё несовершенной системы позиционирования (сканирования и совмещения) технологические нормы на этом этапе ожидаются в районе 90 нм.

Теоретический предел производительности этого прототипа в случае автоматической подачи пластин диаметром 100 мм — 40 пластин в час. Фактически же подача будет ручная, и реальная производительность будет находится в районе 3-х пластин в час.

Таким образом, прототип обещает быть построенным к концу 2025 года. Его задача — подтвердить правильность выбранной технологии. Проверка того, что все фрагменты технологии работают вместе, а не по отдельности. Это и источник рентгеновского изучения, и рентгеновская оптика, которая правильным образом проецирует изображение слоя микропроцессора на фоторезисте, это и фоторезисты, и система позиционирования нанометровой точности.

Промышленная машина 1-го поколения

Длительность работ по этому проекту оценивается в 3 года. В бета-машине топологическую норму рассчитывают поднять до 32 нм.

Ожидается готовность дискового лазера мощности 2,4 кВт. Размер пластин увеличат до 200 мм. Производительность — до 66 пластин в час, что очень неплохо согласно оценке технологов из Микрона, которым, по их словам, достаточно от 40 пластин в час.

Уже этот вариант можно считать промышленным, и его можно будет поставлять предприятиям микроэлектронной промышленности. Его обещают построить к концу 2028 года.

Промышленные машины последующих поколений

После проработки предложений «Росатома» про эти ранее фигурировавшие в планах доработки ничего сказано не было. Более того, предыдущий этап ранее ещё не назывался промышленным. Тогда это была просто бета-машина. Возможно, после проработок вопроса с Минпромторгом и Минэкономразвития было решено ускорить процесс поставки оборудования на предприятия, и делать бету уже как серийный экземпляр.

Однако это не отменяет того, что работы по литографу будут продолжаться, и появятся следующие поколения машин. На появление новых поколений ранее также отводилось 3 года.

Планировалось постепенное улучшение всех характеристик машины. Технологические нормы рассчитывали поднять до 28 нм, а затем до 16 и 12 нм.